美国MKS GM50A/GM51A系列质量流量控制器是一种高品质的质量流量控制器，拥有精度高、可靠性强等优点，适用于液态、气态的流量控制。该系列质量流量控制器由美国MKS公司生产，品牌具有较高的知名度和信誉度，MKS公司是一家专业从事流量控制和压力测量技术的领先企业，其产品已广泛应用于半导体、航空航天、光电子、化工等行业。GM50A/GM51A是该系列的两款型号，分别适用于不同的流量范围。产地位于美国，其生产和制造过程均经过严格的质量控制，确保了产品的良好质量和稳定性。据了解，该产品的市场价格为30000元/件，属于中高价位，但其优异的性能和可靠性具有较高的性价比，深受客户的好评。美国MKS GM50A/GM51A系列质量流量控制器是一种值得信赖的高精度质量流量控制产品，可以为客户的实际应用提供有效的保障和支持。

GM50A/GM51A金属密封的5-50,000 sccm质量流量控制器

GM50A和GM51A数字控制的质量流量控制器有模拟量或RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET或DeviceNet™ I/O。数字控制电子装置利用*新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点作出快速和可重复的反应。典型的响应时间在500毫秒左右。数字校准产生1%的

校准气体的设定点精度。

★流速从5到50,000 sccm

★金属密封，带特氟隆阀塞

★数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I/O的广泛选择

★标准闭合电导率泄漏率小于满刻度的1.0

★小于750毫秒的沉降时间

MKS质量流量控制器用途与特点：

MKS质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气相色谱仪，光导纤维制造设

备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

MKS一般类型：

流量计一般分为以下几种类型：

1. 容积式流量计，又称定排量流量计。它利用机械测量元件把流体连续不断的分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复的充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积流量。

2. 浮子式流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种，在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。

3. 差压式流量计 ，是根据安装于管道中流量检测件产生的差压，已知的流体的条件和检测间与管道的尺寸来计算流量的仪表。

4. 涡街流量计，在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。

5. 涡轮流量计，是速度式流量计中的主要种类，它采用多叶片的转子（涡轮）感受流体平均流速，从而推导出流量或总量的仪表。

6. 超声流量计，通过检测流体流动对超声束（或超声脉冲）的作用以测量流量的仪表。

7. 电磁流量计，电磁流量计是根据法拉第电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。

8. 热式流量计，热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消

耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

常用型号归纳：

GM50A013101RMM020

GM50A013101SMM020

GM50A013102RMM020

GM50A013103RMM020

GM50A013103SMM020

GM50A013201RMM020

GM50A013202RMM020

GM50A013203RMM020

GM50A013204RMM020

GM50A013204SMM020

GM50A013501RMM020

GM50A013502RMM020

GM50A013503RMM020

配件：

CB147-12-10、CB147-1-10、wa01220-01、100016745、CB259-5-10、100016746、100019087、100019088、100019089、RCBDMFC-1-10、RCBDMFC-4-10、RCBDMFC-3-10、RCB147-1-10、RCB147-12-10、RCB147-7-10

资料选型：