美国MKS G系列GE50A数字控制质量流量控制器原装进口

多气体，多量程，橡胶密封，5 - 50,000 sccm质量流量控制器

G系列GE50A数字控制质量流量控制器可选择RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET或DeviceNet™ I/O。数字控制电子装置采用*新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点作出快速和可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒左右。数字校准产生1%的校准气体

的设定点精度。

★流速从5到50,000 sccm

★密封圈和阀塞可选择氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或Kalrez

★数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET和RS485）或模拟（0-5 VDC或4-20 mA）I/O的广泛选择

★标准闭合电导率泄漏率小于满量程的0.1

★小于750毫秒的沉降时间

规格:

特点:

常用型号归纳：

GE50A013101RMV020、GE50A013102RMV020、GE50A013102SMV020、GE50A013103RMV020、GE50A013103SMV020、GE50A013201RMV020、GE50A013202RMV020、GE50A013203RMV020、GE50A013204RMV020、GE50A013204SMV020、

GE50A013501RMV020、GE50A013502RMV020、GE50A013503RMV020

数字和模拟接口的广泛选择

GE50A数字控制的MFC可以选择模拟或数字I/O。数字控制电子装置采用了MKS*新的控制算法，在整个设备控制范围内对设定点作出快速和可重复的反应。典型的响应时间为500毫秒。GE50A的模拟和数字I/O可以很容易地用来替代1179A MFC的那些相同的I/O类型。所有GE50A包

括Modbus作为可用的二级I/O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

所有金属接触面

GE50A的设计包含了对弹性体的*小使用。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀塞。除此之外，所有的润湿表面都是金属的。GE50A的标准配置是Viton®密封圈，以及丁腈橡胶、氯丁橡胶、EPMD或Kalrez®密封圈，允许设备用于需要这些替代物之一的气体。

嵌入式用户接口

一个嵌入式用户界面提供了轻松改变设备范围和用户气体的能力，这减少了库存需求。你还可以监测MFC功能，并在现场收集性能数据。

标准的3英寸脚印

GE50A采用了MFC*常使用的3英寸的标准尺寸，在5 sccm到50 slm的流速范围内，它的使用无需修改现有的气体管道配置。

设定点准确度的百分比

包括数字校准，用N2校准气体在20-****的满刻度流量范围内产生1%的设定点精度。 设定点精度实现了**的过程控制，相对于满刻度的精度。 对于满量程的2-20%的质量流速，精度为满量程的±0.2%。

获得专利的热传感器

经过充分验证的专利热传感器设计提供了卓越的零点稳定性。

配件：

CB147-12-10、CB147-1-10、wa01220-01、100016745、CB259-5-10、100016746、100019087、100019088、100019089、RCBDMFC-1-10、RCBDMFC-4-10、RCBDMFC-3-10、RCB147-1-10、RCB147-12-10、RCB147-7-10